Abstract
本研究為利用電漿光譜影像分析法對電感式電漿源進行特性量測，以瞭解大面積高密度電漿源的基本特性，並與其他量測方法之結果進行比較。 電漿光譜影像分析法主要是利用CCD Camera與光譜分析儀量測分析電漿源的光譜與影像，實驗時改變不同的操作條件（工作氣體、輸入功率、工作氣壓），不同的粒子狀態會發出不同波長與強度的光譜，由此可得到電漿中的各種粒子組成及相對關係、解離程度、電子溫度、電漿密度等電漿特性。 實驗採用清大工科所電漿實驗室自行研製的電感式電漿蝕刻機台為研究對象，電漿源系統是使用射頻功率產生器輸出頻率13.56MHz的射頻功率，經過一個匹配網路做阻抗匹配之後，再輸入至雙螺旋感應線圈激發電漿。