Abstract
本研究的目的是利用流體模式，以及global model模擬分析脈衝式(TM mode)以及連續式(CW mode)電感式電漿源內電漿參數隨空間及時間的變化。在流體模式分析中利用連續方程式、動量方程式以及電子能量方程式解出電漿系統中各粒子密度的空間分佈以及電子溫度的空間分佈。程式中並配合馬克斯威爾方程式解出電漿中感應電場分佈，並利用semi-implicit的數值方法解出電漿電位的空間分佈以增加模擬時間差的長度。在global model模擬分析中則是考慮粒子之連續方程式以及電子能量方程式，分別對時間作積分可以得到粒子平均密度及電子平均溫度隨時間變化情形。程式中將針對電漿系統中平均粒子密度，平均電子溫度隨脈衝週期、工作氣壓以及電漿吸收功率的變化進行討論及研究。由以上兩種模擬分析方式可以幫助我們瞭解電漿中的物理現象，並可以輔助電漿機台的設計與發展。