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電漿浸沒式離子佈植技術於氮化表面改質 304 不□鋼之應用研究
Thesis

電漿浸沒式離子佈植技術於氮化表面改質 304 不□鋼之應用研究

王超賢
Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
2004

Abstract

電漿 離子佈植 氮化 304 不□鋼 不□鋼
本論文是研究奧氏體 304 不□鋼經由電漿浸沒式離子佈植氮化技術後,探討表面改質情況,以製作良好的機械鋼。所探討的離子佈植參數包括:能量效應(5kV、10kV、15kV、與20kV);溫度效應(300℃、400℃、與500℃)以及劑量效應(佈植時間為:1小時、2小時、與3小時)。本論文研究並分別使用微硬度機、輝光放電分光儀、X光繞射分析儀、與抗腐蝕測試等量測儀器,分析不同的佈植參數對於奧氏體 304 不□鋼表面改質情況。再者,並配合理論模擬架構分析氮離子在奧氏體 304 不□鋼的分佈情形。由實驗結果的初步顯示:當偏壓為15kV,溫度為400℃,時間為2小時,可得到最佳的硬度與改質層,並且不會喪失奧氏體 304 不□鋼原本良好的特性。

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