Abstract
已針對美商應用材料公司所題供之四塊不同 susceptor做OM、SEM、EPMA、ESCA、SAM 等不同的表面分析，以期了解此四塊不同susceptor的表面顯微及化學狀態，並推論出其破壞之原因。其主要破壞原因分別應是AlF3 之生成而擠落氧化鋁膜；或AlF3 之生成但未擠落氧化鋁膜，卻使氧化鋁膜功能失效；或因氧化鋁膜中的Si與F化合成SiF4而蒸發散逸，造成氧化鋁膜的部分破壞。欲使susceptor 之使用壽命增長， 可從鋁基材及陽極處理製程二方面著手。使用不含矽雜質， 且含微量鎂的鋁合金當基材，做適當之陽極處理， 使氧化鋁膜的孔洞不至於過大或過小，可增長其使用壽命。