Abstract
本論文探討電磁式微面鏡之回授控制設計。在設計回授控制器時，必須了解受控系統之輸入與輸出特性，據此建立系統動態模型，以便從事分析與設計控制器。本論文首先推導系統之數學模式，再經由系統鑑別找出系統動態模型之參數值。因是使用電磁力驅動，且其驅動力與輸出呈線性的關係，所以整個系統為一線性系統。 本文希望藉由轉角回授控制系統增進電磁式微面鏡扭轉掃描的穩定度及準確度，進而減低電磁式微面鏡應用於投影時的影像失真，並且經由實作與所設計之回授控制系統相互驗證。在控制系統之設計上，考量因製程及操作所產生的系統參數之不確定性，利用量化回授理論設計穩健之回授控制器，其理論確保所設計閉迴路在系統參數之不確定性下之穩定性和系統性能。此外，參考輸入頻率為元件的共振頻，且為一極高之操作頻率，因此使硬體頻寬限制成為另一項障礙。 另一方面，在設計雙軸微面鏡控制系統時，系統屬於單輸入、雙輸出的形式，所以結合Freudenberg於文獻中對SITO 系統設計準則與QFT的設計方法，完成控制系統的設計。此控制系統不但有效減小微面鏡之兩軸向間的耦合，消除系統不確定性及外界干擾，達到追蹤之功能。