Abstract
在微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System）中，目前以微光機電、生物微機電為最熱門的研究領域。微機電系統的製程通常以體微處理加工（Bulk Micromachining）或者面微處理加工（Suface Micromachining），而這兩種製程所做出來的元件大多都是平面的結構。1992年Muller 提出微鉸鍊後，使得平面結構可以利用微絞鍊來達成三維的微結構。微鉸鍊對於微光機電的發展更是有顯著的貢獻，舉凡微鏡面、微光柵、微透鏡等等都是利用微鉸鍊而組裝成三維的結構，因此如何將這些微結構在批次製造後，組裝成一微系統是個很大的挑戰。 本文使用垂直電場組裝微結構。此電場為平行板施加電壓所產生的電場，用以當作驅動源來組裝微鏡面。並且利用靜電學的理論來計算出所產生的電場及靜電吸引力大小的理論值。本文製作微鏡面以及完成實驗平台架設，並且證明了靜電力當作微組裝驅動力的可行性。