Abstract
掃描式探針顯微術是近年來非常普遍的表面影像分析工具，1990年，J. A. Dagata 首次利用STM在大氣中外加偏壓的方法製作出氧化結構，開啟了掃描式探針顯微術場致氧化的研究。 我們實驗室在接觸式原子力顯微術的場致氧化研究已有豐富的結果，而非接觸原子力顯微術的研究，現在正式展開。發展非接觸原子力顯微術來製作局部的場致氧化有幾個原因：一、希望作出更小的氧化結構(~10nm)，二、減低因氧化及掃描過程探針的耗損，三、引進非接觸掃描式探針顯微術才可使用的nanotube探針。 本實驗除了解系統的工作機制外，我們作了以下的研究：一、非接觸式原子力顯微術和接觸式原子力顯微術的影像比較，二、回饋系統對氧化的影響，三、脈衝電壓和脈衝時間對氧化的影響，四、set point對氧化的影響。