Abstract
影像感測器（Image Sensor）是光學裝置的一種，屬於受光元件類，其功用是把原稿的光學影像，以足夠細的解析度，很快地（於數秒內）轉換成電的訊號。這種文件讀取裝置，隨著辦公室自動化的急速發展，在質與量的需求愈來愈迫切。本論文以製造簡單化為導向，探討各種不同結構之性能，希望能在技術上獲得一些知識，而能兼具學術與商業價值。本論文縮小型與密著型兩型式做一整理比較。由於密著型具有使機器小型化的優點，故選擇密著型為研究對象。密著型之結構主要有光導體和光阻礙層。光阻礙層因有內建電場存在故可使光載子之傳輸速度變快而使光電流變大。本論文內選擇阻礙層之蕭基接觸（Shottcky contact），MIS ，及P －I －N 接面做研究。本論文先從薄膜研製開始。成長非晶質氮化矽氫薄膜時：溫度愈高，絕緣性愈佳。穿透率亦隨溫度增加而增加。於ITO 薄膜上成長非晶質氮化矽氫薄膜具有抗反射之效用，使入射光線損失 15減低。非晶質氮化矽氫薄膜之電阻值為１０ohm-cm。非晶質矽薄膜其光暗電流比為5１０。關於元件之光罩設計以實際要求的每毫米８個受光元素為準。光罩ITO 薄膜上部電極三層。元作之量測以電流電壓之關係與光響應速度兩者為依據。本論文所選 3擇結構其實驗結果如下所述。蕭基接觸光暗電流比為１０。MIS 結構光暗電流比為5１０ 。P-I-N 接面光暗電流比為１０。各結構之光響應速度均在２至５毫秒之間。