Abstract
本實驗分成兩部分： 第一部份，利用RFCVD成長類鑽石薄膜，量測熱處理對其場發射特性的影響，輔以拉曼光譜、AFM及SEM作結構分析。實驗結果顯示，原本未處理的樣品經由快速褪火和氫氣爐褪火後，會有場發射，從拉曼光譜中D-line的變化，也可發現這時有SP3結構的產生。 第二部分，使用RFCVD成長氮化碳膜，這時我們使用的氣體為甲烷(CH4)及氨水(NH4OH)，成長出來的樣品分別以XPS、FTIR、Raman及X-ray作結構分析，確定N是否有進入薄膜中，並與C形成鍵結。最後從實驗中，可發現N確實與C鍵結，而且有兩種不同的鍵結模式，X-ray實驗更告訴我們，薄膜中含有B-C3N4的相；另一方面我們以鑽石、類鑽石及氮化碳膜作硬度比較。