Abstract
體型微機械製造技術(bulk micromachining)與X光深 造技術(LIGA)在不久的將來很有潛力可望最有希望的微 械製造技術。本文將詳細介紹體型微機械製造技術與X□`刻模造技術的製造過程，以及微機械製造技術所製造熒L結構，並應用這些技術來製造商業用的產品。在體型L機械製造製程中氮化矽膜被用來當作蝕刻時的幕罩，並野庰它V性蝕刻技術，在矽膜上蝕刻出所需要的微結構。怮嶆b矽膜上電鑄上一層金屬鎳用以製造金屬噴嘴薄板(ozzle plate)。X光深刻模造技術的製程中，PMMA 模子獄s作是利用 PMMA 膜當做X光微影時的光阻，經X光曝光寣A顯影出所需要的微結構。最後在 PMMA 模子上沈積一h屬鎳，簽N光阻去除便可得到所需業的金屬微結構。