Abstract
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- Title
- 高強度屏蔽奈米化矽基板之應力控制以抑制氮化鎵磊晶後基板翹曲
- Translated title
- 高強度屏蔽奈米化矽基板之應力控制以抑制氮化鎵磊晶後基板翹曲
- Creators
- 黃冠庭
- Contributors
- 葉哲良 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2017