Abstract
以雷射蒸鍍法在基板 MgO(001)上鍍 Y0.7Pr0.3Ba2Cu3O7-δ和 YBa2Cu3O7—δ薄膜,利用一面罩(mask)加入於基板MgO和靶體之間,以便得到具有厚度梯度的薄膜,進而在空氣中以AFM觀察薄膜之成長過程;發現 Stranski-Krastanov mode(layer-by-layer follow by island growth)和Volmer-Weber mode (island formation) 兩種不同的YBCO/MgO之薄膜成長過程,分別在不同的製程條件下被觀察到。接著我們以RHEED和AFM觀察一些較薄的Y0.7Pr0.3Ba2Cu3O7-δ和 YBa2Cu3O7—δ薄膜(約150埃以下),發現其受基板MgO影響較大,使得生成結構YBCO(001)/MgO(001)中有部份YBCO(110)/MgO(001)和長條狀之 outgrowths結構YBCO(100)/MgO(001)出現。同時也在 YBCO(001)/MgO(001)層狀結構中發現三重點和其成長為 screwdislocation的過程,以及層狀結構之成長機制。