Abstract
藉著電子顯微鏡的技術，我們探討了高溫金屬矽化物（雙矽化鉻、雙矽化鉿和雙矽化鈮）及鎳與矽晶之界面反應。由於界面有鎳原子的存在，雙矽化鉻趨向於形成具有優選方向的大晶粒。此外，並在矽晶上成功地成長隻矽化鉿與隻矽化鈮磊晶結構。其方向關係分別為〔010〕HfSi2╱〔001〕Si和〔002〕HfSi2╱（220）Si，以及〔1100〕NbSi2╱〔111〕Si和（0003）NbSi2╱（224）Si（mode A）或（0003）NbSi2╱（220）Si（mode B）。對於磊晶矽化物應用在小結構上，我們發現尺寸效應（size effect ），包括界面與體積的比和應力，應變的因素，有助於磊晶雙矽化鎳的成長，而對磊晶矽化物的實際應用有很重要的影響。