Abstract
本研究主要探討五至七元高熵合金薄膜，鍍覆在矽基材上之應力行為及熱機械性質，五元合金靶材成分為銅半鈷鎳鉻鋁 (Cu0.5CoNiCrAl)、六元高熵合金靶材成分為銅半鈷鎳鉻鋁鐵 (Cu0.5CoNiCrAlFe)及七元高熵合金靶材成分為銅半鈷鎳鉻鋁鐵鈦 (Cu0.5CoNiCrAlFeTi)，此合金薄膜皆以直流濺鍍方式製備，所使用之應力量測設備為彎柄儀(Bending Beam Apparatus)。 應力量測結果顯示，高熵合金薄膜熱處理前之室溫殘留應力呈現張應力，隨合金成分元素的增加，室溫殘留應力些微下降，而熱處理後之室溫殘留應力也呈現張應力行為，且其值大於熱處理前之室溫殘留應力。所得熱機械性質(dσ/dT)隨薄膜厚度增加而有明顯減少的趨勢，惟在厚度由25 nm增加至40 nm時，其變化趨勢並不明確，根據文獻可得79，薄膜晶粒大小隨鍍膜厚度增加而成長，因此隨膜厚增加，熱機械性質明顯降低。而熱處理所造成室溫殘留應力之變化差距，也隨薄膜厚度增加而減少。 熱處理所造成室溫殘留應力之變化差距，隨合金成分的增加而逐漸減小，特別在成分由六元增加至七元時，其減小程度最為顯著。由於鈦元素的添加，其有較大的原子半徑及較強的鍵結能力，造成明顯的固溶強化效應及嚴重的晶格扭曲，使得原子在高溫下擴散不易，因此在熱處理過程中，薄膜微結構相當穩定。量測結果顯示，七元高熵合金薄膜熱處理前後之應力行為相當接近。