Abstract
本研究從超微量分析之觀念，探討高純度矽晶體中磷之準確分析方法。 矽晶體先以硝酸—氫氣酸混酸溶解後，加熱使Matrix物質形成氮化物揮發除去。加入硝酸調節在適當的酸度後，加入過量的鉬酸鈉，使與磷形成磷鉬酸，繼藉乙酸異丁酯之萃取，以除去其他可能形成Heteropoly Acid 之元素的干擾。每一分析步驟均藉放射追縱劑探求最適的分離條件。 最後藉分光比色法測量磷鉬酸的吸光度，或藉原子吸收光譜及中于活化分析法測量磷鉬酸中之鉬，間接達到磷的定量的目的。 由於磷鉬酸中，磷原子和鉬原子的重量比為1/37.1，因此以間接法定量磷，可鉅輻降低偵測極限達到超微量分析的目標。以火焰原子吸收光譜法及分光比色法測定時，偵測極限可達l*lO(-7)g；而以中子活化分析法則可低至2*10(-9)g。