Abstract
利用一個致性的數學模式可分析在高電子遷移率電晶體(HEMT)內界面二維電子雲(2-DEG) 的濃度分佈。在計算機中使用疊代法可得到近似解。在本研究中將討論傳統的單異質接合(SINGLE HETERO-STRUCTURE)HEMT內二維電子雲的波函數,濃度分佈以及電子的特徵能量。閘極對二維電子雲的影響亦將加以探討,進而預估其電氣特性,如通道電流Id及互導Gm。這些結果將與實際實驗比較。兩種改良的結構亦將加以討論。這兩種結構為雙異質接合(DOUBLE HETEROSTRUCTURE)HEMT和脈衝摻雜(PULSE-DOPED)HEMT二者都較單異質接合HEMT更俱優良特性:較高的互導及更寬的操作範圍。本文不考慮實際材料晶格匹配的問題,計算中所使用的參數亦以砷化鎵╱砷化鎵鋁等之晶格匹配的材料系統為主。根據目前研究的結果,知脈衝摻雜HEMT俱較寬之操作範圍,互導高,電子不易與雜質作用,是一種特性相當好的元件。