Abstract
本文利用高頻量測技術，來進行萃取傳輸線測試結構之高頻等效介電常數，關於傳輸線測試結構探針接觸墊(Probe Contact Pad)及轉折等額外效應之扣除方法，亦在文中一併加以討論。萃取雙埠高頻等效介電常數之方法流程，可依測試結構有無轉折，選擇採用ABCD參數矩陣法或S參數矩陣法來進行萃取。另一方面建立傳輸線測試結構等效電路模型，提出此電路模型可提供電路設計工作者進行電路模擬時，考慮了傳輸線因電磁波幅射所產生之高頻寄生效應，可更增加高頻電路模擬的準確度，並可進一步評估分析數位電路中，由於時脈訊號切換暫態中高達數十GHz的諧波成份對電 路所會造成的影響。同時也指出了在電路模擬上，諸如此類的電路模型，如何以VLSI技術在晶片上製造實現的方法。