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鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測與記錄
Thesis

鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測與記錄

蔡宜霈
Masters, 國立清華大學, 電子工程研究所
2015

Abstract

電漿感應損害 鰭式電晶體 天線效應 plasma induced damage FinFET Antenna Effect
因申請專利緣故,資料延後公開

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