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Thesis
鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測與記錄
蔡宜霈
Masters, 國立清華大學, 電子工程研究所
2015
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電漿感應損害
鰭式電晶體
天線效應
plasma induced damage
FinFET
Antenna Effect
因申請專利緣故,資料延後公開
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Title
鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測與記錄
Translated title
鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測與記錄
Creators
蔡宜霈
Contributors
林崇榮 (Advisor)
Awarding Institution
國立清華大學, 電子工程研究所; Masters
Theses and Dissertations
Masters, 國立清華大學, 電子工程研究所
Language
Traditional Chinese
Resource Type
Thesis
Date published
2016
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