Abstract
壓電致動器由於具有微小位移解析度高、響應速度快等優異特性,近年來已被廣泛應用於奈米定位技術,但壓電材料特有的磁滯效應卻使得系統動態特性呈非線性,影響精密定位控制與設計上的困難。本文針對常用於描述磁滯效應的麥斯威爾模型,提出修正的系統鑑別與建模策略,使麥斯威爾磁滯模型鑑別適用於系統具有殘餘應力或殘餘電荷的狀況,不再只侷限於初始值等於零的特殊情況;此文提出之磁滯模型修正策略,可利用鍵結圖之物理結構整合於建構壓電致動器的機電動態系統,普遍應用在基於逆動態模型(Inversed dynamic model)的前饋控制上,以有效改善設計控制器的效能。