- 題名
- Bipulse-HiPIMS co-sputter deposition of ITZO for improved electrical and optical properties via controlled ZnO target power
- 創作者：
- Wan-Yu Wu (作者)Ying-Hsiang Lin (作者)Tsu-Lung Wu (作者)Kai-Shawn Tang (作者)Yi-Cheng Lin (作者)致喨 王 (作者)Shui-Yang Lien (作者)
- 學術資源類型
- 期刊文章
- 出版日期
- 2025
- 出版資訊
- Ceramics International
- 語言
- 英語
期刊文章
Bipulse-HiPIMS co-sputter deposition of ITZO for improved electrical and optical properties via controlled ZnO target power
Ceramics International
2025
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