Design and Characterization of CMOS Micromachined Piezoresistive Accelerometers

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Design and Characterization of CMOS Micromachined Piezoresistive Accelerometers

C.-H. Peng 和向成盧

IEEE Sensors Journal, 卷.24(3), 頁碼.2500-2506

2024

DOI: https://doi.org/10.1109/JSEN.2023.3340864

摘要

CMOS;piezoresistive accelerometer;polysilicon;wet etch

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詳細資料

題名: Design and Characterization of CMOS Micromachined Piezoresistive Accelerometers
創作者：: C.-H. Peng (作者) - National Tsing Hua University
向成盧 (作者)
學術資源類型: 期刊文章
出版日期: 2024
出版資訊: IEEE Sensors Journal, 卷.24(3), 頁碼.2500-2506
語言: 英語