Refining silicon nitride waveguide quality through femtosecond laser annealing

期刊文章

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Refining silicon nitride waveguide quality through femtosecond laser annealing

Scientific Reports, 卷.14(1)

2024

DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-024-66707-5

PMID: 38977807

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Silicon Photonics

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詳細資料

題名: Refining silicon nitride waveguide quality through femtosecond laser annealing
創作者：: 鴻文陳 (作者)
學術資源類型: 期刊文章
出版日期: 2024
出版資訊: Scientific Reports, 卷.14(1)
語言: 英語