- 題名
- Surface Sulfurization of Liner and Ruthenium Metallization to Reduce Interface Scattering for Low-Resistance Interconnect
- 創作者：
- Yu-Lin Chen (作者) - National Tsing Hua UniversityKai-Yuan Hsiao (顧問)Ming-Yen Lu (作者)Pei Yuin Keng (作者) - National Tsing Hua University守一 張 (作者)
- 學術資源類型
- 期刊文章
- 出版日期
- 15/04/2024
- 出版資訊
- Applied Surface Science, 卷.652, 頁碼.159318-159318
- 語言
- 英語
期刊文章
Surface Sulfurization of Liner and Ruthenium Metallization to Reduce Interface Scattering for Low-Resistance Interconnect
Applied Surface Science, 卷.652, 頁碼.159318-159318
15/04/2024
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