Uncooled Infrared Detection Using CMOS Thermomechanical Capacitive Sensors

期刊文章

同儕審查

Y.-C. Liu 和向成盧

IEEE Sensors Journal, 卷.24(20), 頁碼.31773-31779

2024

摘要

Capacitive sensors;complementary metal-oxide–semiconductor (CMOS);uncooled infrared detection

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題名: Uncooled Infrared Detection Using CMOS Thermomechanical Capacitive Sensors
創作者：: Y.-C. Liu (作者) - National Tsing Hua University
向成盧 (作者)
學術資源類型: 期刊文章
出版日期: 2024
出版資訊: IEEE Sensors Journal, 卷.24(20), 頁碼.31773-31779
語言: 英語