- 題名
- Unleashing the Power of 2D MoS2: In Situ TEM Study of Its Potential as Diffusion Barriers in Ru Interconnects
- 創作者：
- Ping-Hsuan Feng (作者) - National Tsing Hua UniversityKai-Yuan Hsiao (作者)Dun-Jie Jhan (作者)Yu-Lin Chen (作者) - National Tsing Hua UniversityPei Yuin Keng (作者) - National Tsing Hua University守一 張 (作者)Ming-Yen Lu (作者)
- 學術資源類型
- 期刊文章
- 出版日期
- 10/2023
- 出版資訊
- ACS Applied Materials & Interfaces
- 語言
- 英語
期刊文章
Unleashing the Power of 2D MoS2: In Situ TEM Study of Its Potential as Diffusion Barriers in Ru Interconnects
ACS Applied Materials & Interfaces
10/2023
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