Utilizing H2S to sulfurize transition metal and oxide barriers for suppressing resistivity scaling of ruthenium metallization

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Yu-Lin Chen, Kai-Yuan Hsiao, Dun-Jie Jhan, Ming-Yen Lu, Pei Yuin Keng, Kun-An Chiu, Yu-Wei in 和守一張

Thin Solid Films, 卷.802

15/08/2024

摘要

H2S;ruthenium metallization

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題名: Utilizing H2S to sulfurize transition metal and oxide barriers for suppressing resistivity scaling of ruthenium metallization
創作者：: Yu-Lin Chen (作者) - National Tsing Hua University
Kai-Yuan Hsiao (作者)
Dun-Jie Jhan (作者)
Ming-Yen Lu (作者)
Pei Yuin Keng (作者) - National Tsing Hua University
Kun-An Chiu (作者)
Yu-Wei in (作者)
守一張 (作者)
學術資源類型: 期刊文章
出版日期: 15/08/2024
出版資訊: Thin Solid Films, 卷.802
語言: 英語