Abstract
由於半導體氧化物奈米材料具有特殊的物理與化學特性,有很多應用的可能性,尤其是在感測領域,近年來吸引了許多科學家投入研究。本文介紹以原子力顯微術奈米微影方法,製作單一氧化鈦奈米點感測器。首先製作單一鈦奈米線,並連接金電極,接著再製作單一氧化鈦奈米點,而形成金屬－半導體－金屬結構,並應用於紫外光感測。感測原理是由於紫外光照射下,氧分子在氧化物奈米點表面的脫附,而造成導電性變化。選擇奈米點位置在鈦奈米線中間或其與電極接面,可製作出歐姆型（ohmic）和蕭特基（Schottky）型兩種類型紫外光感測器,而後者靈敏度遠高於前者。除了紫外光感測外,此種氧化物奈米點感測器也可應用於氣體或化學感測,而成為一多功能的奈米感測器。