- Title
- 以氮化鋁薄膜製作薄膜體聲波共振氣之研究
- Creators - without role
- 正賢 周永振 林念華 戴金花 黃 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系諭男 林
- Publication Details
- 材料科學與工程 材料科學與工程, Vol.37(2), pp.105-109
- Identifiers
- 9957774537506774
- Academic Unit
- National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Journal article
Journal article
以氮化鋁薄膜製作薄膜體聲波共振氣之研究
材料科學與工程 材料科學與工程, Vol.37(2), pp.105-109
2005
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