Abstract
本研究開發了一種利用表面電漿共振的中紅外線生醫及化學用感測器,關鍵在於利用高摻雜濃度的矽以調整材料的光學性質,並配合週期性的摻雜圖案,便能在中紅外光的範圍內激發表面電漿共振造成極低的反射率。一旦媒介中出現異物或濃度改變而影響此波段的光學性質時,低反射率所對應的波長或角度可以產生明顯的偏移,藉此可以即時察知物質變化。開發的感測器優點包括:對應的表面電漿波長可由摻雜結構及摻雜濃度,針對所要感測的物質調整目標波長;感測器本身平滑的表面也不會阻止流體的流動及生物反應;靈敏度亦高於目前已知的表面電漿感測系統。