Abstract
本文簡介以微機電製程技術所製作之微型光波導元件及嵌入式光纖機構，並整合於微流體晶片系統中，可有效改善傳統微流體晶片應用於生醫領域檢測時仍需依賴大型光學儀器之缺點。本文提出以SU-8及SOG為材料所製成之微型光波導元件，此元件改善了一般平板型光波導以薄膜沉積方式製作而產生之製程複雜及厚度過薄等問題，且可提供高效率之光傳遞。由實驗結果可知，整合微型光學元件之微流體生醫晶片可大幅縮小系統體積並增加系統偵測靈敏度，因而可望成為生醫晶片檢測之有用工具。
- Title
- 微型光波導及光纖元件整合於微流體晶片系統及其生醫檢測之應用
- Creators - without role
- 思愷 熊國賓 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Publication Details
- 科儀新知 科儀新知, Vol.156, pp.28-36
- Identifiers
- 9957767985306774
- Academic Unit
- Institute of Biomedical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Journal article