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應用於大面積微波電漿源之輻射共振腔原理探討
Journal article

應用於大面積微波電漿源之輻射共振腔原理探討

健倫 洪, 存續 張, 國瑞 朱, 涪 戴 and 康威 呂
真空科技, Vol.13(3), pp.55-61
2000

Abstract

大面積微波電漿源;輻射共振腔

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