Abstract
本研究以某300mm 半導體晶圓廠之自動化物料搬運系統為對象，探討interbay 與intrabay兩者整合後對自動化物料搬運系統行為的影響，並在確定的interbay與intrabay設施規劃下，特別探討晶圓廠搬運車「活動範圍」的車輛管理及其管制問題。本研究提出以搬運車區分「車型」的概念來「區分活動範圍」，除採「固定車型環境」外，並進一步提出虛擬共用觀念的管制稱為「虛擬車型環境」；而在搬運車「不區分活動範圍」方面，則另提出「動態搬運車環境」。研究中提出此三種不同搬運車活動範圍的管理及其管制方式，以作為晶圓廠搬運車管制之參考。