Abstract
Ein Gassensor umfasst eine erste akustische Oberflächenwellenvorrichtung, mindestens eine weitere akustische Oberflächenwellenvorrichtung und eine Steuervorrichtung. Die erste akustische Oberflächenwellenvorrichtung umfasst ein piezoelektrisches Substrat, ein Transducerpaar und eine externe Schaltung. Das Transducerpaar besteht aus einem ersten Transducer und einem zweiten Transducer, und sie sind auf zwei Seiten des piezoelektrischen Substrats gebildet. Der erste Transducer wird zum Erzeugen einer akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat verwendet. Die externe Schaltung ist elektrisch mit dem Transducerpaar verbunden. Mindestens eine weitere akustische Oberflächenwellenvorrichtung umfasst mindestens eine erste akustische Oberflächenwellenvorrichtung und einen porösen Messdünnfilm, der auf beiden Seiten des Transducerpaars gebildet ist. Die Steuervorrichtung wird zum Steuern von nur einer externen Schaltung verwendet, die zu einem Zeitpunkt aktiviert wird.