Abstract
本發明係提供一種多層薄膜的製造方法，該方法包含下列步驟：提供一無機靶材，以濺射氣體、反應氣體或其組合，將該無機靶材進行一濺鍍，以在一基板上沉積該無機層；提供一高分子靶材，利用一脈衝雷射對該高分子靶材進行沉積，以在該無機層上沉積該有機層；以及重複形成無機層與有機層步驟以形成一多層薄膜。本發明能夠提供一種厚度較厚、強度高及提高韌性之多層薄膜。
- Title
- 一種有機與無機複合多層薄膜的製造方法
- Creators - without role
- 國軒科技股份有限公司杜正恭詹佑晨陳憲緯陳柏宇石東益
- Identifiers
- 9957787594606774
- Note
- 參考文獻CN101255261ACN101518151AUS2002/0024297A1US2009/0135874A1
- Academic Unit
- National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I503448; I503448
- Date application
- 06/09/2013