Abstract
本發明是在提供一種二硫化鉬奈米片感測器及其製造方法，其利用介電泳方法於室溫下來製作二硫化鉬奈米片感測器，不僅製作容易且更方便整合其他奈米製程，且具有高靈敏度及高訊噪比之優點。
- Title
- 二硫化鉬奈米片感測器及其製造方法
- Creators - without role
- 健中 洪 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系王世邦吳忠軒健中 洪 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Identifiers
- 9957787805906774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I606009
- Date application
- 31/12/2015