Abstract
一種具有軟磁性材料的感應元件，包含：一基材、一形成於該基材上的絕緣層、一設置於該絕緣層內且是由含有鐵、鉭、碳及氮之組份的鐵磁性材料所製成的鐵磁性層，及一疊層地連接於該絕緣層且藉該絕緣層與該鐵磁性層相間隔開的螺旋狀誘導體。其中，該鐵磁性層是使用一由鐵、鉭及碳所構成的靶材，在一介於1 mTorr至50 mTorr之間的工作壓力，以及一0.0005至0.25之間的氮氣比氬氣之流量比值之條件下利用反應式濺鍍法所形成，且鐵、鉭及碳於該靶材中的重量比分別是介於50 wt％至95 wt％、25 wt％至5 wt％及25 wt％至5 wt％之間。