Abstract
本發明揭露一種可攜式氣體感測裝置，具有以氧化鋅(ZnO)奈米線、金屬氧化物(例如氧化銅(CuxO))及貴金屬(例如黃金)的奈米材料組成的三元奈米複合材料，作為吸附氣體分子的感測薄膜，以提高氣體吸附能力及感測靈敏度。由感測裝置的發光二極體射出之紫外光，照射在感測薄膜上，使氣體分子吸附與脫附快速達成平衡。感測薄膜所在的矽晶片上，也具有感測及加熱兩組電極，可降低環境濕度對氣體感測的干擾。
- Title
- 具有雙功能性電極對與紫外激活三元奈米複合材料之可攜式氣體感測裝置
- Creators - without role
- 國立清華大學林鶴南廖泰杉呂文忠陳煜杰庫馬 桑庫儒 薩欽朱昌珮
- Identifiers
- 9957787716806774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I676793; I676793
- Date application
- 05/09/2018