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利用掃描式同調光繞射的三維顯影方法及系統
Patent

利用掃描式同調光繞射的三維顯影方法及系統

國立清華大學 and 陳健群
01/11/2022

Abstract

一種利用掃描式同調光繞射的三維顯影方法及系統中,二維光偵測器偵測由光源以掃描方式朝向待測樣品的單一面向發射的同調光束經繞射而產生的多個二維繞射資料分布;處理器將該等二維繞射資料分布轉換成在倒空間的多個三維強度分布,根據樣品函數、光源函數和該等三維強度分布進行多次迭代演算以獲得相位回復的樣品函數,並根據該相位回復的樣品函數並執行三維繪圖應用程式生成該待測樣品的三維重建影像,藉此實現相對容易、省時且對該待測樣品所遭受之光照射損害降至最低的三維影像重建。

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