Abstract
本發明揭露一種可應用於半導體製程之動態實驗設計方法。藉由在實驗設計之過程中，檢查實驗目標範圍是否有所更動，以重新建立實驗設計表並保留已完成實驗的因子水準，而可達到動態調整實驗因子之目的。本發明之實驗設計方法能夠有效地適用在高科技產業。
- Title
- 動態實驗設計方法
- Translated title
- Method For Dynamic Experimental Design
- Creators - without role
- 國立清華大學簡禎富莊世鐘
- Identifiers
- 9957787650606774
- Academic Unit
- Department of Industrial Engineering and Engineering Management, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I519986; I519986
- Date application
- 12/08/2014