Abstract
一種即時檢測全場厚度的光學裝置，包含二光源單元、二屏幕、二影像擷取器，及一影像處理模組。二光源單元分別產生行進至平面待測件的參考點的第一入射光與第二入射光，該第一入射光與該第二入射光為點擴束且具同調性的球面光波，並分別產生第一干涉條紋與第二干涉條紋。二屏幕分別將第一干涉條紋與第二干涉條紋成像於其上。二影像擷取器分別設置於兩個屏幕之上，擷取干涉條紋的光強影像。影像處理模組與影像擷取器連接以獲得數位訊號，並計算平面待測件的全場厚度分布。
- Title
- 即時檢測全場厚度的光學裝置
- Creators - without role
- 偉中 王 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系宋泊錡偉中 王 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Identifiers
- 9957787826706774
- Academic Unit
- Center for India Studies, Office of Academic Affairs, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I601938
- Date application
- 28/06/2016