Abstract
本發明提出一種可變平行電容板之製造方法，包含：形成一結構體，其包含一介電層、一金屬層以及一保護層，其中該介電層含有一引洞結構；在該保護層上定義一蝕刻窗；以一蝕刻液自該蝕刻窗並經該引洞結構進行蝕刻；清除該蝕刻液；移除該保護層；以及進行一蝕刻以形成該微機械結構。
- Title
- 可變平行電容板之製造方法
- Translated title
- Method For Fabricating Variable Parallel Plate Capacitors
- Creators - without role
- 原相科技股份有限公司方維倫蔡明翰王傳蔚孫志銘
- Identifiers
- 9957787645506774
- Academic Unit
- Institute of NanoEngineering and Microsystems, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I398887; I398887
- Date application
- 22/10/2007