Abstract
一種壓電換能器之製造方法，包括：提供一基板，其上形成有複數圖案化電極；提供一壓電粒子懸浮溶液於該基板及該些圖案化電極上；提供一電壓予該些圖案化電極之間，以產生一電場；以及透過該電場，使得該壓電粒子懸浮溶液中之複數壓電粒子沉積於該些圖案化電極之至少其中一者上，以形成一圖案化壓電薄膜，並透過該電場，使得該圖案化壓電薄膜發生極化。
- Title
- 壓電換能器之製造方法
- Creators - without role
- 健中 洪 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系陳冠文健中 洪 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Identifiers
- 9957787751006774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I572262
- Date application
- 16/12/2014