Abstract
一種大面積薄膜太陽能電池的製法，實質上是由以下步驟所構成：(a)在一表面之上形成有一第一電極單元的基板上形成一多層膜，該步驟；(b)在一含有一惰性氣體及一硒源的退火環境內對該多層膜施予硒化處理，以令該多層膜形成一具有黃銅礦晶相的吸收層；(c)於該吸收層上形成一第一緩衝層；(d)於該第一緩衝層上形成一第二緩衝層；(e)於該第二緩衝層上形成一透明導電層；及驟(f)於該透明導電層上形成一第二電極單元。該步驟(a)包括以下次步驟：(a1)於該第一電極單元上濺鍍一含有Cu、Ga及KF的第一複合膜體，及(a2)在該含有Cu、Ga及KF的第一複合膜體上濺鍍一In膜體。