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奈米壓印之模仁結構
Patent

奈米壓印之模仁結構

財團法人工業技術研究院, 程智勇, 蔡宏營 and 吳志宏
31/01/2004

Abstract

一種奈米壓印之模仁結構,係於一以矽為材料製成的模仁本體之一壓印面上附著有一奈米類鑽碳膜/一奈米晶粒鑽石膜,使得模仁具備有抗磨耗性佳、容易脫模及表面光滑等特性。

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