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奈米結構鑽石散熱片
Patent

奈米結構鑽石散熱片

國立清華大學, 饒達仁, 遲雅各, 黃振昌, 寇崇善 and 陳建勳
16/05/2006

Abstract

奈米結構 微波電漿 化學氣相沉積法 散熱片
本發明係為一奈米結構鑽石散熱片,藉由微波電漿輔助化學氣相沉積法製作一具奈米鑽石結構的奈米結構鑽石散熱片,其奈米鑽石結構之高度約0.4μm~3.0μm及相當大的深寬比最高可達32:1,能提供大表面積的鰭狀結構將熱導出,不須額外加工,可解決散熱片體積龐大的問題及提高其散熱效果,可應用於相關電腦中央處理器的散熱片、高功率雷射二極體的散熱片等散熱片產業之領域中。
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