Abstract
【課題】 層状表面音波フィルタの構造の提供。【解決手段】 圧電材料層/インタディジタルトランスデューサ/高音速伝送材料層/基板の構造特徴を具えた層状表面音波フィルタの構造であり,新たな工程技術であるフォーカスイオンビームでダイアモンド表面をエッチングしてナノメータレベルの凹状マイクロ構造を得て,さらに凹状マイクロ構造中においてナノメータレベルの入力インタディジタルトランスデューサ及び出力インタディジタルトランスデューサを形成し,音波伝送速度を高め,エネルギーの消耗を減少して機械電気カプリング係数を増加し,並びに装置の挿入損失を減らす。