Abstract
一種層狀表面聲波濾波器之改良結構，具有『壓電材料層/交指叉換能器/高聲速傳遞材料層/基板』結構特徵，其係於一矽晶片基板上以化學氣相沈積法鍍製一高聲速傳遞材料之鑽石薄膜；續於鑽石薄膜上以創新能量束製程技術(如：聚焦離子束)蝕刻鑽石表面而得到奈米或微米等級之一第一凹狀微結構及一第二凹狀微結構；再於第一凹狀微結構及第二凹狀微結構中，以金屬鍍膜沈積分別形成奈米等級之一輸入交指叉換能器及一輸出交指叉換能器；續鍍膜沈積一壓電材料層後，完成一具有『壓電材料層/交指叉換能器/高聲速傳遞材料層/基板』結構特徵之層狀結構表面聲波濾波器，可提高聲波傳遞速度，減少能量的消耗而增加機電耦合係數，並降低元件的插入損失。