Abstract
一種微型元件壓電式回饋夾持操作裝置，於夾持設計上，在壓電材料上以漸進式電極設計，不僅能達成超精密均勻形變而提高夾持精度，同時能有較大的變形量而提高操作範圍，在放置設計方面則以交指狀電極(IDT)產生局部表面聲波，能使操作微／奈米元件瞬間克服表面物理作用力，達到順利放置的功能。交指狀電極亦能感測因微／奈米元件與操作裝置接觸產生的微小形變而轉換的電流訊號，以回饋機制控制夾持力大小，形成一整合夾持單元、持力控制與放置單元的壓電微／奈米操作裝置。
- Title
- 微型元件壓電式回饋夾持操作裝置
- Translated title
- Piezoelectric Feedback Clamping And Handling Apparatus For Micro-Sized Component
- Creators - without role
- 財團法人工業技術研究院程智勇蔡宏營劉丙寅
- Identifiers
- 9957787828106774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- 572055; 218399
- Date application
- 23/05/2002