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微型致冷與致電結構
Patent

微型致冷與致電結構

財團法人工業技術研究院, 饒達仁, 李以霠, 鄭景亮 and 黃一德
21/11/2003

Abstract

發射端晶片 微懸臂樑
一種微型致冷與致電結構,係包括具有一發射表面的發射端晶片,具有與該發射表面相對且相隔有一距離之接收表面的接收端晶片,以及形成於該發射表面上的複數個微懸臂樑元件;其係利用每一微懸臂樑元件上的距離感應單元與位移致動單元,使每一微懸臂樑元件上作為電子發射端的突起部與該接收表面間維持一最適電子穿隧距離,以降低晶片表面平整度與材料低功函數之要求,進而藉該微懸臂樑元件的穿隧距離定位能力,增加電子穿隧至該接收表面之機率,同時達致理想的致冷與致電效率。

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