Abstract
本发明提出一种微机电电容式麦克风，其包括一支撑部与一振膜；其中，支撑部支撑振膜的中心部分，借以加速排除、释放振膜于热工艺中所产生的应力，使振膜得以维持平整，以提升电容感测的精准度。
- Title
- 微机电电容式麦克风
- Creators - without role
- 国立清华大学詹竣凯方維倫
- Identifiers
- 9957787744906774
- Note
- 優先權CN 20101189358 20100526
- Academic Unit
- Institute of NanoEngineering and Microsystems, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Date application
- 25/05/2010